냉각수 proof rim, Paper fixture rim 순으로 제거한다.
Needle valve를 약간 열고
냉각수 On하여 디스크에 냉각수를 골고루
적신 뒤,
디스크 위에 Sandpaper를 올리고
냉각수 Proof rim,
Paper fixture rim 을 처음과 역순으로 장착한다.
분석사례
01. 반도체 시편전처리과정 분석
샘플제작 프로세스
▶컷팅 → 콜드마운팅 → 폴리싱
▶PCB 절단 과정 (DIAMOND CUTTER)
▶콜드마운팅 작업 과정
▶ 연마 & 폴리싱 과정
02. 광학현미경 분석결과
GRINDING/POLISHING PROCESS
▶ BGA(50X, DF)
광학현미경 분석결과
▶ MLCC
광학현미경 분석결과
▶ BGA
03. 전자현미경 분석결과
전자현미경 분석법
▶ SEM/EDS 를 통해서 얻을 수 있는 정보
▶ SE / BSE 이미지
SE (Secondary Electron)-2차 전자
요철에 의한 정보로 이미지 형성, 주로 표면형상 관찰로
전체적인 이미지 구성에
일반적으로 사용
BSE (Backscattered Electron)-후방산란(반사) 전자
시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성.
원자번호 차이가 20 이상이면 인접상의 구별이 가능함
▶ SEM 분석결과 - BGA
100x
100x
500x
1,000x
5,000x
10,000x
▶ 정성/정량 분석
▶ 맵핑(Mapping) 분석
▶ SEM 분석결과 - MLCC
100x
150x
500x
1,000x
5,000x
▶ 정성/정량 분석
▶ 맵핑(Mapping) 분석
자동차 전장품 품질분석
제품의 고장이 발생되었을 경우 그 메커니즘(Mechanism)을 밝히기 위하여 각종 분석장비를 활용하여 분석함으로써 고객 대응 및 고장요인 제거, 품질향상과 신뢰성 향상을 확보할 수 있습니다. 또한 정확한 불량분석을 위해서는 고장 발생 현장 및 제품의 특징 등을 정확히 이해하고 접근해야 하며, 분석전문가와 제품 전문가가 함께 메커니즘을 분석해야 합니다.
㈜지에스이엠 시험분석센터 에서는 SEM/EDS 장비를 이용하여 신뢰성 시험 및 정밀분석을 지원하고 있습니다. 협력사를 통해 샘플이 접수되면 세부항목(국내/해외자동차 규격)에 부합되도록, 시료제작부터 표면(단면) 분석결과를 제공합니다.
분석사례 (SEM Images)
분석 프로세스
석면해체 공사 후 석면 함유량 성분검사 대행
뉴스스크랩 : 석면해체 공사 후 석면 함유량 성분검사 대행 뉴스보러가기
석면은 세계보건기구(WHO) 산하 국제암연구소가 지정한 '1급 발암물질'이다. 우리나라의 경우, 2015년부터 석면 사용이 전면 금지됐다. 유치원을 포함한 전국의 초·중·고교는 2027년까지 모든 석면을 제거해야 한다. 아래는 시민단체 환경보건시민센터가 지난 5월 공개한 전국 석면 학교 명단(2022년 3월 기준)이다. 17개 시·도 가운데 석면 학교 수가 1000개 이상인 곳은 서울과 경기였다. 두 곳의 경우에는 시·군·구별로 명단을 표기했다.
(※2022년 여름방학 때 석면을 제거한 학교는 제외했음)
출처 : 시사저널(http://www.sisajournal.com)
서울시교육청은 학교 건물의 석면 해체・제거 사업 완료 후 주사전자현미경을 사용하여 고형 석면 잔재물 및 먼지시료 검사를 진행하고 있습니다.
GSEM 시험분석센터는 석면해체·제거 작업 완료 후 ‘학교 석면모니터단’ 에서 보내온 잔재물을 접수받아 하계/동계방학 기간에 집중적으로 석면검출 여부 시험분석 대행을 담당하고 있습니다.
가장 이상적인 석면 잔재물 유/무 검사방법으로는 주사전자현미경(SEM/EDS) 을 사용되고 있으며, 약 3대의 SEM/EDS 장비를 통해 오차 없이 명확한 결과물을 제공합니다.
석면 분석기법 및 종류
| 분석방법 | 원리 | 장/단점 | 공정 시험법 |
|---|---|---|---|
| 1. 위상차 현미경법 | 여과지에 시료를 채취한 후, 동결처리 하여 위상차 현미경으로 분석 |
다른 방법에 대해 간편하나 석면 식별이 어려움 |
OSHA 공정 시험법 NOSH P & CAM 239 NOSH Method 7400 |
| 2. 편광 현미경법 | 석면 광물이 가지는 고유한 빛의 편광성을 이용한다. | 고형시료분석에 사용 석면을 감별분석가능. 저 배율이기 때문에 정확한 식별이 어려움. |
미국 EPA 공정 시험법 NOSH Method 9002 |
| 3. X선 회절법 | 석면포함을 은막여과지에 놓고 X선 조사 빛에 회절을 이용하여 강도율 을 측정 | 고형시료 중 백석면 분석에 사용 장비가격이 고가이며, 조작이 복잡함. |
NOSH P& CAM 309 NOSH Method 9000 |
| 4. 전자현미경법 | 진공상태에서 전자를 이용한 표면 이미지와 X-Ray를 이용한 성분검사가 가능 | 석면 시료분석에 가장 적합한 방법 석면의 감별 분석이 가능 가는 섬유 이미지 및 성분 검사가 가능 단지, 가격이 고가이며 외부샘플분석 가능 |
SEM / EDS 석면검사에 가장 적합 |
| 5. 투과전자현미경법 | 진공상태에서 전자를 샘플에 투과를 시켜 이미지 구현 |
샘플 전처리 작업이 힘들고 장비가격 및 분석비용이 매우 고가임 |
TEM |
석면 잔재물 접수/분석 프로세스
SEM/EDS 분석 준비과정
EDS(성분분석) 진행과정
▶
분석시간 : 샘플 1개당 약 10분 에서 최대 30분 소요
-
1. 샘플 이름 입력
2. 샘플 내 성분함유 분석
(SEM 화면 전체영역)
-
3. 전자현미경 이미지 전송 후 특정위치 성분분석
4. 분석 포인트의 성분 함유(정성) 분석
-
5. 정량(Atomic %) 확인
6. 보고서 출력 [ 완료 ]
-
※ 성분분석 결과 레포트 : 샘플 1개당 1개의 REPORT (워드파일) 제공
1. 샘플 이름 입력
2. 샘플 내 성분함유 분석
(SEM 화면 전체영역)
3. 전자현미경 이미지 전송 후 특정위치 성분분석
4. 분석 포인트의 성분 함유(정성) 분석
5. 정량(Atomic %) 확인
6. 보고서 출력 [ 완료 ]
※ 성분분석 결과 레포트 : 샘플 1개당 1개의 REPORT (워드파일) 제공
EDS(성분분석) REPORT
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